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[¹ÝµµÃ¼¼ÒºÎÀå 2023³â »ó¹Ý±â °æ¿µ½ÇÀû]

¨ê ¿øÀÍIPS R&D 2¹è ´Ã·Á¡¦À¯ÁøÅ×Å© ÁÖ¼º¿£Áö ÅõÀÚ ÁÖµµ

  • º¸µµ : 2023.10.10 08:00
  • ¼öÁ¤ : 2023.10.10 08:00

¿¬±¸°³¹ß¿¡ Áø½ÉÀÎ ¼ÒºÎÀå ±â¾÷¡¦ »ó¹Ý±â 18.5% Áõ°¡
AP½Ã½ºÅÛ 130%, ¿¡½ºÆ¼¾ÆÀÌ 64%, ¿ÍÀ̾ÆÀÌÄÉÀÌ 50% ´Ã·Á

Á¶¼¼ÀϺ¸

ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ/Å×½ºÆ®/ÆÐŰ¡ ±â¾÷ÀÇ »ó¹Ý±â R&D(¿¬±¸°³¹ß) ÅõÀÚ´Â 3443¾ï ¿øÀ¸·Î Àü³â µ¿±âÀÇ 2904¾ï ¿øº¸´Ù 18.5% Áõ°¡ÇÑ °ÍÀ¸·Î Á¶»çµÆ´Ù. ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍ °¨¼Ò¿¡ ºÒ±¸ÇÏ°í ¿¬±¸°³¹ßºñ ÅõÀÔÀ» ´Ã·È´Ù.

¿¬±¸°³¹ßºñ ±Ô¸ð·Î¸¸ ºÃÀ» ¶§ 1À§ ¿øÀÍIPS(827¾ï¿ø)¿Í 21À§ µÎ»êÅ×½º³ª(8¾ï¿ø)´Â 100¹è ÀÌ»óÀÇ °ÝÂ÷¸¦ º¸¿´´Ù. »ý»ê Ç°¸ñ¿¡ µû¶ó ¸ÅÃâ¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸°³¹ßºñÀÇ ºñÁßÀÌ Å« Â÷À̸¦ º¸ÀÎ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù.

Àü³â »ó¹Ý±â ´ëºñ ¿¬±¸°³¹ßºñ°¡ °¡Àå Å©°Ô ´Ã¾î³­ ±â¾÷Àº ¿øÀÍIPS·Î 138.0%ÀÇ Áõ°¡À²À» º¸¿´´Ù. ¾÷°è¿¡¼­ µÎ ¹ø°·Î ³ôÀº ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÅõÀÔÇÑ À¯ÁøÅ×Å©´Â 2.9%, 3À§ ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº 8.0%ÀÇ Áõ°¡À²À» º¸ÀÌ¸ç »óÀ§±Ç ±â¾÷ÀÌ ¿¬±¸°³¹ß È°µ¿À» ¼±µµÇß´Ù.

¿¬±¸°³¹ßºñ ÅõÀÚ±Ô¸ð 1À§ºÎÅÍ 6À§±îÁö °í¿µÅ×Å©³î·¯Áö ÄÉÀ̾¾ÅØ Å×½º µî »óÀ§±Ç ±â¾÷Àº ¸ÅÃâ¿¡ ´ëÇÑ ¿¬±¸°³¹ßºñ ºñÁßÀÌ 14~35%¸¦ ³ªÅ¸³»¸ç Àüü Æò±ÕÀÎ 8.4%¸¦ Å©°Ô ¿ôµ¹¾Ò´Ù.

ÀÌ¿Ü¿¡µµ AP½Ã½ºÅÛ 130%, ¿¡½ºÆ¼¾ÆÀÌ 64%, ¿ÍÀ̾ÆÀÌÄÉÀÌ 50%ÀÇ Áõ°¡À²À» ±â·ÏÇÏ¸ç ¿¬±¸°³¹ßºñ ÅõÀÚ¸¦ Å©°Ô ´Ã·È´Ù.
 
Á¶¼¼ÀϺ¸
¡ß…¿øÀÍIPS ´ëÇ¥ÀåºñÀÎ NOA ALD. »çÁø=¿øÀÍIPS ȨÆäÀÌÁö 
 
¿øÀÍIPS´Â ±Ý³â Áß ¹ÝµµÃ¼ °øÁ¤¿ë µå¶óÀÌ ÆßÇÁ °è¿­ Áø°øÆßÇÁ ¹× »ó¿ëÈ­ ±â¼ú °³¹ß°ú IT µð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ Àú¿Â´Ù°áÁ¤»êÈ­¹°(LTPO)¿ë Àý¿¬¸· ÁõÂøÀ» À§ÇÑ °í¹Ðµµ ÇöóÁ È­ÇÐÁõÂø(CVD) ±â¼úÀ» °³¹ß ÁßÀÌ´Ù. ÀÌ·Î ÀÎÇØ Àü³âµ¿±â ´ëºñ 138.0% Áõ°¡ÇÑ 827¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁýÇàÇØ Àü³â 2À§¿¡¼­ 1À§·Î ¼øÀ§¸¦ ¿Ã·È´Ù. ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ ¿¬±¸°³¹ßºñ ºñÁßÀº 29.0%¿¡ ´ÞÇÑ´Ù.
 
Á¶¼¼ÀϺ¸
¡ß…À¯ÁøÅ×Å© Á¦Ç°ÀÎ °Ç½Ä Ŭ·»Â¡ ½Ã½ºÅÛ. »çÁø=À¯ÁøÅ×Å© ȨÆäÀÌÁö
 
À¯ÁøÅ×Å©´Â Àú¾ÐÈ­ÇÐÁõÂø(LPCVD) ÁúÈ­ ±Ô¼Ò(SiN) Àåºñ °³¹ß°ú ÁÖ¼®(TiN)°è¿­ ÇٽɼÒÀç ¹× ¿øÀÚÃþÁõÂø(ALD) Àåºñ °³¹ß¿¡ ÁýÁßÇß´Ù. ±× °á°ú 389¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ »ç¿ëÇØ Àü³âµ¿±â ´ëºñ 2.9% Áõ°¡Çß´Ù. Àü³â 1À§¿¡¼­ 2À§·Î ÇÑ ´Ü°è ¼øÀ§°¡ Ç϶ôÇß´Ù. ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ ¿¬±¸°³¹ßºñ ºñÁßÀº 25.0%·Î ¿©ÀüÈ÷ ³ô¾Ò´Ù.
 
Á¶¼¼ÀϺ¸
¡ß…ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ SDP ALD. »çÁø=ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ ȨÆäÀÌÁö 
 
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº ¹ÝµµÃ¼¼ÒÀÚ ÃÖ¼Ò¼±Æø °¨¼Ò¿¡ µû¸¥ ÁýÀûÈ­ ±â¼úÀû ÇѰ踦 ±Øº¹Çϱâ À§ÇÑ ½Ç¸®ÄÜ·°Ô¸£¸¶´½¿¡ÇÇ(SiGe_Epi) Àåºñ °³¹ß°ú »ø·¢Æ¼ºê ½Ç¸®ÄÜ-¾ÖÇÇÅØ¼È ±×·Î½º(Selective Si-Epitaxial Growth) Àåºñ °³¹ß Áß ¾ç»ê¼º Çâ»óÀ» À§ÇÑ ¼³ºñ °³¼± ÀÛ¾÷ µîÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Àü³â »ó¹Ý±â ´ëºñ 8.0% ´Ã¾î³­ 353¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁýÇàÇß´Ù. ±Ý³â »ó¹Ý±â¿¡ ¸ÅÃâÀÌ ¹ÝÅ丷 ³­ ¿µÇâÀ¸·Î ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ ¿¬±¸°³¹ßºñ ºñÁßÀÌ 35.1%±îÁö ³ô¾ÆÁ³´Ù.
 
Á¶¼¼ÀϺ¸
¡ß…°í¿µÅ×Å©³î·¯ÁöÀÇ ¹ÝµµÃ¼ °Ë»çÀåºñ ¶óÀξ÷. »çÁø=°í¿µÅ×Å©³î·¯Áö ȨÆäÀÌÁö 
 
°í¿µÅ×Å©³î·¯Áö´Â ºê¸´Áö(BRIDGE) À¶ÇÕ¿¬±¸°³¹ß µî¿¡ 225¾ï ¿øÀ» ÁöÃâÇÏ¿© Àü³â »ó¹Ý±â º¸´Ù 5.0% °¨¼ÒÇÑ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁýÇàÇß´Ù. Àü³â°ú µ¿ÀÏÇÑ 4À§¸¦ ÁöÄ×´Ù. ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ ¿¬±¸°³¹ßºñ ºñÁßµµ 22.1%¸¦ ±â·ÏÇß´Ù.
 
Á¶¼¼ÀϺ¸
¡ß…ÄÉÀ̾¾ÅØ Á¦Ç°ÀÎ ¿þÀÌÆÛ¿¬¸¶(CMP)Àåºñ. »çÁø=ÄÉÀ̾¾ÅØ È¨ÆäÀÌÁö 
 
ÄÉÀ̾¾ÅØÀº Â÷¼¼´ë ±â¼ú·Â È®º¸¸¦ À§ÇØ ´ÙÁß±¤Çм¾¼­(Multi Optic Sensor) ±â¹Ý ÇÁ·ÎÇÊ ÄÁÆ®·Ñ(Profile Control) °³¹ß, ÅëÇÕº¸È£Á¦¾î½Ã½ºÅÛ(IPCS) ¿§Áö ÄÁÆ®·Ñ(Edge Control) °íµµÈ­ °³¹ß µîÀ» ¼öÇàÇÑ ¿¬±¸°³¹ß ½ÇÀûÀÌ ÀÖ´Ù. ±Ý³â »ó¹Ý±â¿¡ 225¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁýÇàÇÏ¿© Àü³â »ó¹Ý±â ´ëºñ 13.9% ´Ã¾î³µ´Ù. ¾÷°è¿¡¼­ ¿¬±¸°³¹ßºñ ÅõÀÚ ±Ô¸ð´Â Àü³â 7À§¿¡¼­ 5À§·Î ¶Ù¾î ¿Ã¶ú´Ù.
 
Á¶¼¼ÀϺ¸
¡ß…Å×½ºÀÇ PECVD Àåºñ. »çÁø=Å×½º ȨÆäÀÌÁö 
 
Å×½º´Â Å« ÆøÀÇ ¸ÅÃâ°¨¼Ò¿¡ ºÒ±¸ÇÏ°í Àü³âµ¿±â ´ëºñ 4.2% °¨¼ÒÇÑ 179¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁöÃâÇß´Ù. ±âÁ¸ ½À½Ä Ŭ¸° Àåºñ¸¦ ´ëüÇÒ °Ç½Ä Ŭ¸° ÀåºñÀÇ ÀÏÁ¾ÀÎ ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ·¡µðÄà ½Ä°¢(Radical Etch) Àåºñ (SiCN Recess) °³¹ß µî¿¡ ºñ¿ëÀ» ÅõÀÔÇß´Ù.

ÁßÇÏÀ§±Ç ±â¾÷ Áß ¾÷°è Æò±ÕÀÎ 8.4% ÀÌ»ó ºñÁßÀ» º¸ÀÎ ±â¾÷À¸·Î ¿ÍÀ̾ÆÀÌÄÉÀÌ 9.0%, Å×Å©À® 13.8%, Çѹ̹ݵµÃ¼ 11.7%°¡ ÀÖÀ¸¸ç ³ª¸ÓÁö ±â¾÷µéÀº Æò±Õ ¹Ì¸¸ÀÇ ¹ÌÈíÇÑ ¼öÄ¡¿¡ ¸Ó¹°·¶´Ù.
 
 
¿¡½º¿¡ÇÁ¿¡ÀÌ´Â ¸ÅÃâ¾× ¹× ¿µ¾÷ÀÌÀÍ ºÐ¾ß¿¡¼­ 1À§¿¡ ¿Ã¶úÀ¸³ª Àü³âµ¿±â ´ëºñ ¿¬±¸°³¹ßºñ´Â 12.9% ÁÙ¿© Àü³â 5À§¿¡¼­ 7À§·Î ¼øÀ§°¡ ¶³¾îÁ³´Ù. ¸ÅÃâ¾× ´ëºñ ¿¬±¸°³¹ßºñ ºñÁßµµ 2.2%·Î ¸Å¿ì ³·´Ù. ÁÖ¿ä ÁøÇà ÁßÀÎ °³¹ß·Î´Â ½º¸¶Æ®ÆÑÅ丮 ºÐ¾ß ¼±·Î(Rail) ÁÖÇàÇü ·Îº¿ ÇÇÅ· ½ºÅ×À̼Ç(Robot Picking Station) ±â¼ú°³¹ß°ú ÀÌÂ÷ÀüÁö ºÐ¾ß ÀÌÂ÷ÀüÁö Â÷¼¼´ë Àü±Ø Çü¼º ±â¼ú µîÀÌ ÀÖ´Ù.

Á¦¿ì½º´Â Àü³âµ¿±â ´ëºñ 5.1% °¨¼ÒÇÑ 141¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁýÇàÇßÀ¸¸ç Àü³â°ú µ¿ÀÏÇÑ 8À§¸¦ À¯ÁöÇß´Ù. ¿¬±¸°³¹ß ½ÇÀûÀÇ Áß½ÉÀº µð½ºÇ÷¡ÀÌ ÀåºñÂÊÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ °ü·Ã °³¹ß½ÇÀûÀº ¿¤À̵𠸮ÇÁÆ® ¿ÀÇÁ(LED Lift off) ¼¼Á¤ Àåºñ ¹× ¼¼Á¤ ÀåºñÀÎ °í¿Â Ȳ»êÀåºñ °³¹ßÀÌ ÀÖ´Ù.
 
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¡ß…¿ÍÀ̾ÆÀÌÄÉÀÌ ³½µå ¿þÀÌÆÛ Å×½ºÅÍ Á¦Ç° »çÁø. »çÁø=¿ÍÀ̾ÆÀÌÄÉÀÌ È¨ÆäÀÌÁö
 
¿ÍÀ̾ÆÀÌÄÉÀÌ´Â ¸ÅÃâ °¨¼Ò¿¡ ºÒ±¸ÇÏ°í ¿¬±¸°³¹ßºñ·Î Àü³â »ó¹Ý±â ´ëºñ 50.3% Áõ°¡ÇÑ 130¾ï ¿øÀ» ÁýÇàÇØ Àü³â 13À§¿¡¼­ 9À§·Î ¼øÀ§¸¦ ¿Ã·È´Ù. °³¹ß½ÇÀûÀ¸·Î´Â 3Â÷¿ø ³½µå(3D NAND)ÀÇ ¹Ì¼¼ÇÑ Àü±âÀû Ư¼º °Ë»ç¿¡ ´ëÇÑ Å×½ºÆ® Ä¿¹ö¸®Áö(Test Coverage)¸¦ °­È­ÇÑ MT6122 Type2 °³¹ß µîÀÌ ÀÖ´Ù.

Çϳª¸¶ÀÌÅ©·ÐÀº ¸ÅÃâ ¹× ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀº ¼±¹æÇßÀ¸³ª ¿¬±¸°³¹ßºñ´Â Àü³âµ¿±â ´ëºñ 11.8% ÁÙ¿© 115¾ï ¿øÀ» ½èÀ¸¸ç ¼øÀ§µµ Àü³âµµ 9À§¿¡¼­ 10À§·Î Ç϶ôÇß´Ù.

ÇÇ¿¡½ºÄÉÀÌ´Â Àü³âµ¿±â ´ëºñ 4.1% ÁÙ¾îµç 110¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁýÇàÇßÀ¸¸ç Àü³â 10À§¿¡¼­ ¼øÀ§°¡ ¶³¾îÁø 11À§¸¦ Â÷ÁöÇß´Ù.

ÀÌ¿ÀÅ×Å©´Ð½ºµµ Àü³âµ¿±â ´ëºñ 18.7% ÁÙ¾îµç 92¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¼øÀ§°¡ Àü³â 11À§¿¡¼­ 12À§·Î ³·¾ÆÁ³´Ù.
 
Á¶¼¼ÀϺ¸
¡ß…AP½Ã½ºÅÛÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÎ PVD600. »çÁø=AP½Ã½ºÅÛ È¨ÆäÀÌÁö 
 
AP½Ã½ºÅÛÀº Àü³âµ¿±â ´ëºñ 130.1% ´Ã¾î³­ 89¾ï ¿øÀÇ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ »ç¿ëÇØ Àü³âº¸´Ù ¼øÀ§°¡ ³ôÀº 13À§¿¡ ¿Ã¶ú´Ù. ÃßÁø ÁßÀÎ °ÇÀ¸·Î´Â 8¼¼´ë±Þ ALD ¾ç»ê½Ã½ºÅÛ °³¹ßÀÌ ÀÖ´Ù.

Å×Å©À®Àº Àü³âµ¿±â º¸´Ù 6.9% Áõ°¡ÇÑ 88¾ï ¿øÀ» ¿¬±¸°³¹ßºñ·Î ÁýÇàÇÏ¿© Àü³â°ú µ¿ÀÏÇÑ 14À§¸¦ À¯ÁöÇß´Ù.

Çѹ̹ݵµÃ¼´Â ¸ÅÃâ°¨¼ÒÀÇ ¿©ÆÄ·Î Àü³âµ¿±â ´ëºñ 16.6% ¿¬±¸°³¹ßºñ°¡ °¨¼ÒÇßÀ¸¸ç 15À§·Î ¼øÀ§°¡ ³·¾ÆÁ³´Ù.

¿¤¿ÀƼº£Å¨Àº ¸ÅÃâ°ú ¿µ¾÷ÀÌÀÍÀÌ ´ëÆø ´Ã¾úÀ¸³ª ¿¬±¸°³¹ßºñ´Â Àü³âµ¿±â ´ëºñ 2.9% Áõ°¡¿¡ ±×ÃÆ´Ù. ¼øÀ§´Â Àü³â°ú µ¿ÀÏÇÑ 16À§¸¦ À¯ÁöÇß´Ù.

GSTµµ Àü³âµ¿±â ´ëºñ 13.9% ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁÙ¿© 17À§·Î ¼øÀ§°¡ ³·¾ÆÁ³´Ù.

¿¡½ºÆ¼¾ÆÀÌ¿Í À¯´Ï¼ÀÀº Àü³âµ¿±â ´ëºñ 63.7%, 22.6% ´Ã¾î³­ ¿¬±¸°³¹ßºñ¸¦ ÁýÇàÇßÀ¸¸ç ¼øÀ§´Â ¼­·Î ¹Ù²î¾î 18À§¿Í 19À§¸¦ º¸¿´´Ù. ¿¬±¸°³¹ßºñ´Â Å©°Ô ´Ã¾úÀ¸³ª ¿¬±¸°³¹ßºñ ºñÁßÀº ¿¡½ºÆ¼¾ÆÀÌ 3.5%, À¯´Ï¼À 4.3%·Î Æò±Õ ¼öÁØ ´ëºñ ¿©ÀüÈ÷ ³·´Ù.

20À§ Ƽ¿¡½º¿Í 21À§ µÎ»êÅ×½º³ª´Â ¿¬±¸°³¹ßºñ ºñÁßÀÌ °¢°¢ 1.3%, 0.5%·Î ¾÷°è ÃÖÇÏÀ§¼±¿¡ ¸Ó¹°·¶´Ù. 

ÁÖ¿ä±â»ç