¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ°¡ °ø¸ðÇÏ´Â Áֽļö´Â ÃÑ 160¸¸ÁÖ·Î, Èñ¸Á °ø¸ð°¡ ¹üÀ§´Â 9700¿ø~1¸¸1400¿ø, ÃÑ °ø¸ð±Ý¾×Àº 155¾ï¿ø~182¾ï¿øÀÌ´Ù.
¿À´Â 11¿ù 15ÀϺÎÅÍ 11¿ù 21ÀϱîÁö ±â°üÅõÀÚÀÚ ´ë»ó ¼ö¿ä¿¹ÃøÀ» ÅëÇØ °ø¸ð°¡¸¦ È®Á¤ÇÑ µÚ, °°Àº ´Þ 26ÀÏ°ú 27ÀÏ ÀÌƲ µ¿¾È ÀÏ¹Ý Ã»¾àÀ» ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. »óÀå ÁÖ°ü»ç´Â KBÁõ±ÇÀÌ´Ù.
2013³â¿¡ ¼³¸³µÈ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°í ¾ç»êÇÏ´Â Àü¹®±â¾÷À¸·Î, ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É °øÁ¤ ÀåºñÀÎ PECVD °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÔÀ¸·Î½á ¹Ì·¡ ¼ºÀåÀ» À§ÇØ ÈûÀ» ½ñ°í ÀÖ´Ù. Àü¹® ¿¬±¸Àη°ú PECVD ±¹Ã¥°úÁ¦ ¼öÇàÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Áö³ 2021³â SiCN PECVD Àåºñ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇß´Ù.
ÀÌÈÄ ±Û·Î¹ú HBM ¼±µÎÁÖÀÚÀÎ SKÇÏÀ̴нº·ÎºÎÅÍ ±â¼úÇõ½Å±â¾÷À¸·Î ¼±Á¤µÆÀ¸¸ç, SiCN PECVD Àåºñ ³³Ç°À» À§ÇÑ Ä÷ Å×½ºÆ®(Qual-Test)¸¦ ¿Ï·áÇÑ ÈÄ ÇöÀç ¾ç»ê °ËÁõ ´Ü°è¿¡ ÀÖ´Ù°í ȸ»çÃøÀº ¼³¸íÇß´Ù.
»óÀåÀ» ÅëÇØ °ø¸ðÀÚ±ÝÀº ½Å»ç¾÷ÀÎ PECVD Àåºñ °³¹ß ¹× »ç¾÷ȸ¦ À§ÇÑ ¿î¿µÀڱݰú ½Å±Ô °øÀå ºÎÁö Ãëµæ µî¿¡ »ç¿ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
Á¶Ã¢Çö ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "´ç»ç´Â Áö¼ÓÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ß·Î µ¶Ã¢ÀûÀÌ°í Â÷º°ÈµÈ ±â¼ú·ÂÀ» È®º¸ÇÏ¸ç ºü¸£°Ô ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Â HBM°ú PLP ½ÃÀåÀ» ¼±µµÇØ ³ª°¨À¸·Î½á, PECVD¿Í DZ Ŭ¸®³Ê ÀåºñÀÇ ¼¼°èȸ¦ À̷ﳪ°¡°Ú´Ù"°í ¹àÇû´Ù.