´º½º > ±ÝÀ¶Áõ±Ç > Áõ±Ç

¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ, Áõ±Ç½Å°í¼­ Á¦Ãâ ÄÚ½º´Ú »óÀå º»°ÝÈ­... ÁÖ°ü»ç KBÁõ±Ç

  • º¸µµ : 2024.10.30 09:30
  • ¼öÁ¤ : 2024.10.30 09:30
Á¶¼¼ÀϺ¸
¡ß…»çÁø=¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ
¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ°¡ Áö³­ 29ÀÏ ±ÝÀ¶À§¿øȸ¿¡ Áõ±Ç½Å°í¼­¸¦ Á¦ÃâÇÏ°í ÄÚ½º´Ú »óÀåÀ» À§ÇÑ º»°ÝÀûÀÎ °ø¸ð ÀýÂ÷¿¡ µ¹ÀÔÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù.

¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ°¡ °ø¸ðÇÏ´Â Áֽļö´Â ÃÑ 160¸¸ÁÖ·Î, Èñ¸Á °ø¸ð°¡ ¹üÀ§´Â 9700¿ø~1¸¸1400¿ø, ÃÑ °ø¸ð±Ý¾×Àº 155¾ï¿ø~182¾ï¿øÀÌ´Ù.

¿À´Â 11¿ù 15ÀϺÎÅÍ 11¿ù 21ÀϱîÁö ±â°üÅõÀÚÀÚ ´ë»ó ¼ö¿ä¿¹ÃøÀ» ÅëÇØ °ø¸ð°¡¸¦ È®Á¤ÇÑ µÚ, °°Àº ´Þ 26ÀÏ°ú 27ÀÏ ÀÌƲ µ¿¾È ÀÏ¹Ý Ã»¾àÀ» ÁøÇàÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù. »óÀå ÁÖ°ü»ç´Â KBÁõ±ÇÀÌ´Ù.

2013³â¿¡ ¼³¸³µÈ ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ´Â ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°í ¾ç»êÇÏ´Â Àü¹®±â¾÷À¸·Î, ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½É °øÁ¤ ÀåºñÀÎ PECVD °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÔÀ¸·Î½á ¹Ì·¡ ¼ºÀåÀ» À§ÇØ ÈûÀ» ½ñ°í ÀÖ´Ù. Àü¹® ¿¬±¸Àη°ú PECVD ±¹Ã¥°úÁ¦ ¼öÇàÀ» ¹ÙÅÁÀ¸·Î Áö³­ 2021³â SiCN PECVD Àåºñ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇß´Ù.

ÀÌÈÄ ±Û·Î¹ú HBM ¼±µÎÁÖÀÚÀÎ SKÇÏÀ̴нº·ÎºÎÅÍ ±â¼úÇõ½Å±â¾÷À¸·Î ¼±Á¤µÆÀ¸¸ç, SiCN PECVD Àåºñ ³³Ç°À» À§ÇÑ Ä÷ Å×½ºÆ®(Qual-Test)¸¦ ¿Ï·áÇÑ ÈÄ ÇöÀç ¾ç»ê °ËÁõ ´Ü°è¿¡ ÀÖ´Ù°í ȸ»çÃøÀº ¼³¸íÇß´Ù.

»óÀåÀ» ÅëÇØ °ø¸ðÀÚ±ÝÀº ½Å»ç¾÷ÀÎ PECVD Àåºñ °³¹ß ¹× »ç¾÷È­¸¦ À§ÇÑ ¿î¿µÀڱݰú ½Å±Ô °øÀå ºÎÁö Ãëµæ µî¿¡ »ç¿ëÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.

Á¶Ã¢Çö ¾ÆÀÌ¿¡½ºÆ¼ÀÌ ´ëÇ¥ÀÌ»ç´Â "´ç»ç´Â Áö¼ÓÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ß·Î µ¶Ã¢ÀûÀÌ°í Â÷º°È­µÈ ±â¼ú·ÂÀ» È®º¸ÇÏ¸ç ºü¸£°Ô ¼ºÀåÇÏ°í ÀÖ´Â HBM°ú PLP ½ÃÀåÀ» ¼±µµÇØ ³ª°¨À¸·Î½á, PECVD¿Í DZ Ŭ¸®³Ê ÀåºñÀÇ ¼¼°èÈ­¸¦ À̷ﳪ°¡°Ú´Ù"°í ¹àÇû´Ù.

°ü·Ã±â»ç